等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面，從而實現清潔、改性、光刻、灰化等目的。